我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。

广州潽拓光电科技——Osaka TG350FVAB

   Osaka日本大阪真空曾经制造出世界上第yi台复合涡轮分子泵，也制造了当时da的涡轮分子泵。对不同用途的分子泵（比如耐高温，耐震动，耐腐蚀）拥有丰富的设计经验和应用经验。

   产品种类：涡轮分子泵、复合分子泵、牵引分子泵、磁悬浮涡轮分子泵、磁悬浮复合分子泵、干式真空泵、罗茨式真空泵、油旋转真空泵、液环式真空泵、油扩散真空泵、喷射泵、真空机组、真空设备等。

   应用领域：半导体、FPD（平面显示器）、核聚变、理化科学研究、宇宙环境实验、超传导、化工、医*品、合成纤维 金属、钢铁工业、汽车工业、食品等。

TG系列涡轮分子泵  

   TG56CA、TG64、TG200 、TG203 、TG203CA、TG203CW、TG203RA、TG203RW、TG203VA、TG203VW、TG542、TG550、TG553、TG553BW、TG553CW、TG553VW、 TG1000、TG1000VW、TG1003 、TG1003BW、TG1003CW、TG1003VW、TG1303 、TG1303BW、TG1303CW、TG1303VW、TG1810、TG1810BW、TG1810VW、TG1813、TG1813BW、TG1813VW、 TG2810 、TG2810BW、TG2810E、TG2810VW、TG2813 、TG2813BW、TG2813VW、TG3210、TG3210BW、TG3210VW、TG3213 、TG3213BW、TG3213VW、TG3410 、TG3410VW、TG3413、TG3413VW、TG5000、TG5000VW、TG5003 、TG5003VW、TG5500、TG5500VW、TG5003、TG5503VW

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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广州潽拓光电——涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。

这种泵通常在分子流状态下工作。

分子泵的原理

       分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除。

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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 varian真空分子泵